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微 崇 半 导 体 关 于 微 崇 行 业 介 绍 微 崇 产 品 新 闻 资 讯 加 入 微 崇 关 于 微 崇 A b o u t A s p i r i n g B e A s p i r i n g 从 细 微 之 基 做 崇 高 之 业 微 崇 于 2 0 2 1 年 3 月 成 立 ， 是 由 领 先 的 海 归 半 导 体 设 备 技 术 团 队 发 起 ， 与 中 国 资 深 工 程 师 和 科 学 家 团 队 共 同 建 立 一 个 ， 立 足 于 非 线 性 光 学 晶 圆 检 测 技 术 的 世 界 先 进 半 导 体 公 司 。 微 崇 致 力 于 研 发 最 先 进 的 半 导 体 检 测 技 术 ， 生 产 先 进 的 半 导 体 检 测 设 备 。 行 业 介 绍 I n d u s t r y I n t r o d u c t i o n 在 几 十 年 发 展 历 程 中 ， 集 成 电 路 的 飞 速 发 展 推 动 社 会 现 代 化 程 度 跨 越 式 提 升 ， 深 刻 影 响 了 现 代 人 类 的 思 维 方 式 和 生 活 习 惯 。 电 子 计 算 机 技 术 的 发 展 加 速 人 类 社 会 进 入 信 息 化 时 代 ， 集 成 电 路 科 学 一 定 程 度 上 成 了 人 类 科 技 大 发 展 的 基 础 。 随 着 5 G 、 人 工 智 能 、 物 联 网 、 自 动 驾 驶 等 新 兴 技 术 的 产 业 化 加 速 ， 芯 片 需 求 量 随 之 激 增 。 半 导 体 质 量 控 制 贯 穿 集 成 电 路 制 造 全 过 程 ， 保 证 芯 片 性 能 与 生 产 良 率 。 随 着 先 进 制 程 和 复 杂 工 艺 的 使 用 ， 工 艺 环 节 不 断 增 加 ， 行 业 发 展 对 工 艺 控 制 水 平 提 出 了 更 高 的 要 求 ， 制 造 过 程 中 量 测 设 备 与 检 测 设 备 的 需 求 量 倍 增 。 微 崇 产 品 A s p i r i n g P r o d u c t A S P I P E R 3 0 0 0 非 线 性 光 学 晶 圆 缺 陷 检 测 系 统 A S P I R E R 3 0 0 0 非 线 性 光 学 晶 圆 缺 陷 检 测 系 统 可 以 提 供 晶 圆 级 别 的 缺 陷 检 测 ， 对 界 面 及 膜 层 质 量 进 行 综 合 测 试 分 析 ， 提 升 各 类 制 程 的 良 率 。 独 有 的 非 线 性 光 学 技 术 配 合 自 主 研 发 的 检 测 系 统 可 提 供 超 高 的 检 测 灵 敏 度 ， 并 对 有 、 无 图 案 晶 圆 均 有 良 好 的 适 用 性 。 A S P I R E R 3 0 0 0 机 台 可 满 足 客 户 在 研 发 和 量 产 中 对 晶 圆 质 量 的 快 速 、 无 损 、 精 准 检 测 需 求 。 产 品 特 点 非 接 触 、 无 损 伤 快 速 检 测 在 线 检 测 软 件 操 作 便 捷 W a f e r M a p 等 多 样 化 表 征 手 段 主 要 应 用 各 类 成 膜 工 艺 质 量 的 监 控 各 类 生 产 工 艺 机 台 稳 定 性 的 监 控 刻 蚀 等 工 艺 对 晶 圆 损 伤 的 检 测 与 监 控 离 子 注 入 及 退 火 工 艺 的 质 量 监 控 清 洗 等 工 艺 质 量 的 监 控 B R A V E R Y 3 0 0 0 光 调 制 反 射 晶 圆 检 测 系 统 B R A V E R Y 3 0 0 0 是 具 有 巨 大 市 场 价 值 的 新 型 晶 圆 缺 陷 检 测 设 备 ， 其 采 用 光 调 制 反 射 技 术 ， 可 实 现 对 晶 圆 的 非 接 触 、 无 损 伤 、 在 线 、 快 速 、 内 部 检 测 ， 精 准 诊 断 与 定 位 晶 圆 缺 陷 ， 该 产 品 对 有 / 无 图 案 晶 圆 均 适 用 ， 可 填 补 当 前 国 内 市 场 离 子 注 入 工 艺 非 接 触 检 测 设 备 的 国 产 化 空 白 ， 实 现 晶 圆 注 入 质 量 特 性 检 测 量 产 化 。 产 品 特 点 非 接 触 非 破 坏 性 有 / 无 图 案 晶 圆 皆 适 用 可 作 为 在 线 检 测 设 备 无 需 测 前 与 测 后 处 理 ， 超 快 检 测 速 度 软 件 检 测 操 作 简 单 可 自 动 生 成 w a f e r m a p 等 可 视 化 数 据 主 要 应 用 各 种 离 子 注 入 及 退 火 工 艺 的 质 量 监 控 刻 蚀 等 工 艺 对 晶 圆 损 伤 的 质 量 监 控 产 品 优 势 自 研 产 品 ， 可 定 制 化 微 崇 新 闻 A s p i r i n g N e w s P a g e o f 0 加 入 微 崇 J o i n A s p i r i n g 条 目 类 别 城 市 P a g e o f 0

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